Tricloruro de boro (BCL3)é un composto inorgánico usado habitualmente nos procesos de grabación en seco e deposición de vapor químico (CVD) na fabricación de semiconductores. É un gas incoloro cun forte cheiro punxente a temperatura ambiente e é sensible ao aire húmido porque hidroliza para producir ácido clorhídrico e ácido bórico.

Aplicacións de tricloruro de boro

Na industria de semiconductores,Trichloruro de boroúsase principalmente para o gravado en seco de aluminio e como dopante para formar rexións de tipo P en obleas de silicio. Tamén se pode usar para gravar materiais como GaAs, SI, ALN e como fonte de boro en certas aplicacións específicas. Ademais, o tricloruro de boro é amplamente utilizado no procesamento de metais, na industria do vidro, na análise química e na investigación de laboratorio.

Seguridade do tricloruro de boro

Trichloruro de boroé corrosivo e tóxico e pode causar graves danos nos ollos e na pel. Hidroliza en aire húmido para liberar gas tóxico de cloruro de hidróxeno. Polo tanto, hai que tomar medidas de seguridade apropiadas ao manexarTrichloruro de boro, incluíndo levar roupa de protección, lentes e equipos de protección respiratoria e operar nun ambiente ben ventilado.