Tricloruro de boro (BCl3)é un composto inorgánico que se emprega habitualmente nos procesos de gravado en seco e deposición química de vapor (CVD) na fabricación de semicondutores. É un gas incoloro cun forte cheiro acre a temperatura ambiente e é sensible ao aire húmido porque se hidroliza para producir ácido clorhídrico e ácido bórico.

Aplicacións do tricloruro de boro

Na industria dos semicondutores,Tricloruro de boroÚsase principalmente para o gravado en seco de aluminio e como dopante para formar rexións de tipo P en obleas de silicio. Tamén se pode usar para gravar materiais como GaAs, Si, AlN e como fonte de boro en certas aplicacións específicas. Ademais, o tricloruro de boro úsase amplamente no procesamento de metais, na industria do vidro, na análise química e na investigación de laboratorio.

Seguridade do tricloruro de boro

Tricloruro de boroé corrosivo e tóxico e pode causar danos graves nos ollos e na pel. Hidrólizase no aire húmido para liberar gas cloruro de hidróxeno tóxico. Polo tanto, cómpre tomar as medidas de seguridade axeitadas ao manipulalo.Tricloruro de boro, incluíndo o uso de roupa protectora, lentes e equipos de protección respiratoria, e traballar nun ambiente ben ventilado.