Gas láser

O gas láser úsase principalmente para o recocido láser e o gas de litografía na industria electrónica. Beneficiándose da innovación das pantallas de teléfonos móbiles e da expansión das áreas de aplicación, a escala do mercado do polisilicio de baixa temperatura ampliarase aínda máis, e o proceso de recocido láser mellorou significativamente o rendemento dos TFT. Entre os gases neón, flúor e argon utilizados no láser excímero ArF para a fabricación de semicondutores, o neón representa máis do 96 % da mestura de gas láser. Co refinamento da tecnoloxía de semicondutores, o uso de láseres excímeros aumentou e a introdución da tecnoloxía de dobre exposición levou a un forte aumento na demanda de gas neón consumido polos láseres excímeros ArF. Beneficiándose da promoción da localización de gases especiais electrónicos, os fabricantes nacionais terán un mellor espazo de crecemento do mercado no futuro.

A máquina de litografía é o equipo central da fabricación de semicondutores. A litografía define o tamaño dos transistores. O desenvolvemento coordinado da cadea da industria da litografía é a clave para o avance das máquinas de litografía. Os materiais semicondutores correspondentes, como a fotorresina, o gas de fotolitografía, a fotomáscara e os equipos de revestimento e revelado, teñen un alto contido tecnolóxico. O gas de litografía é o gas co que a máquina de litografía xera un láser ultravioleta profundo. Diferentes gases de litografía poden producir fontes de luz de diferentes lonxitudes de onda, e a súa lonxitude de onda afecta directamente á resolución da máquina de litografía, que é un dos núcleos da máquina de litografía. En 2020, as vendas globais totais de máquinas de litografía serán de 413 unidades, das cales as vendas de ASML, 258 unidades, representaron o 62 %, as vendas de Canon, 122 unidades, o 30 % e as vendas de Nikon, 33 unidades, representaron o 8 %.