cloruro de hidróxenoé un gas incoloro cun cheiro acre. A súa solución acuosa chámase ácido clorhídrico, tamén coñecido como ácido clorhídrico. O cloruro de hidróxeno é moi soluble en auga. A 0 °C, 1 volume de auga pode disolver uns 500 volumes de cloruro de hidróxeno.

Ten as seguintes propiedades e características:

1. Alta pureza

A pureza do grao electrónicocloruro de hidróxenoé moi alto, normalmente en ppm ou un nivel inferior, para garantir que non se introduzan impurezas no proceso de fabricación de semicondutores.

2. Inercia

É un gas quimicamente inerte que non reacciona con moitas outras substancias, o que é moi importante para evitar a contaminación de materiais e equipos semicondutores.

3. Alta estabilidade

Grao electrónicocloruro de hidróxenoxeralmente ten unha química estable para garantir un procesamento fiable de semicondutores.

No procesamento de semicondutores, as principais aplicacións do cloruro de hidróxeno de grao electrónico inclúen:

1. Limpeza e preparación da superficie

Como un limpador de superficies eficiente, de grao electrónicocloruro de hidróxenoúsase para eliminar óxidos e impurezas da superficie do substrato para garantir a calidade e pureza da capa ou película epitaxial.

2. Axuda ao crecemento epitaxial

Usado como axente de tratamento superficial no proceso epitaxial, axuda a mellorar a calidade da capa epitaxial, mellorar a correspondencia da rede e reducir a formación de defectos da rede.

3. Pretratamento do substrato

Antes da preparación de dispositivos semicondutores, de grao electrónicocloruro de hidróxenopódese usar para tratar a superficie do substrato para formar unha base estable para mellorar a adhesión entre a capa epitaxial e o substrato.

4. Axente auxiliar de deposición

No proceso de deposición química de vapor (CVD) ou deposición física de vapor (PVD), o cloruro de hidróxeno de grao electrónico pódese usar como medio de transferencia en fase gasosa para participar na reacción de deposición de materiais semicondutores.

5. Axente de transferencia en fase gasosa

Como axente de transferencia en fase gasosa, introdúcense outros precursores gasosos na cámara de reacción para axudar a axustar a velocidade de deposición e a uniformidade do material.

Estas características fan que a calidade electrónica sexacloruro de hidróxenoun importante axente de procesamento na tecnoloxía de semicondutores, que ten un impacto clave no rendemento e na fiabilidade do dispositivo final.

Ademais do seu uso no procesamento de semicondutores, o cloruro de hidróxeno de grao electrónico pode atopar unha variedade de usos noutras áreas, incluíndo: preparación de materiais de alta pureza, pilas de combustible, crecemento de materiais semicondutores, litografía en fase de vapor, análise de materiais e investigación química.

En xeral, grao electrónicocloruro de hidróxenoé un gas versátil e de alta pureza que ten unha ampla gama de aplicacións fóra da fabricación de semicondutores.