Cloruro de hidróxenoé un gas incoloro cun cheiro punxente. A súa solución acuosa chámase ácido clorhídrico, tamén coñecido como ácido clorhídrico. O cloruro de hidróxeno é moi soluble en auga. A 0 ° C, un volume de auga pode disolver uns 500 volumes de cloruro de hidróxeno.

Ten as seguintes propiedades e características:

1. Alta pureza

A pureza do grao electrónicoCloruro de hidróxenoé moi alto, normalmente en PPM ou nivel inferior, para asegurarse de que non se introducen impurezas no proceso de fabricación de semicondutores.

2. Inercia

É un gas químicamente inerte que non reacciona con moitas outras substancias, o que é moi importante para evitar a contaminación de materiais e equipos de semiconductores.

3. Alta estabilidade

Grao electrónicoCloruro de hidróxenoXeralmente ten química estable para garantir un procesamento fiable de semiconductores.

No procesamento de semiconductores, as principais aplicacións do cloruro de hidróxeno de grao electrónico inclúen:

1. Limpeza e preparación de superficie

Como un limpador de superficie eficiente, grao electrónicoCloruro de hidróxenoúsase para eliminar óxidos e impurezas da superficie do substrato para garantir a calidade e pureza da capa ou película epitaxial.

2. Axuda de crecemento epitaxial

Usado como axente de tratamento superficial no proceso epitaxial, axuda a mellorar a calidade da capa epitaxial, a mellorar a correspondencia de celosía e a reducir a formación de defectos de celosía.

3. Pretratamento do substrato

Antes da preparación de dispositivos de semiconductor, grao electrónicoCloruro de hidróxenoPódese usar para tratar a superficie do substrato para formar unha base estable para mellorar a adhesión entre a capa epitaxial e o substrato.

4. Axente auxiliar de deposición

No proceso de deposición de vapor químico (CVD) ou deposición de vapor físico (PVD), o cloruro de hidróxeno de grao electrónico pódese usar como medio de transferencia de fase gasosa para participar na reacción de deposición de materiais de semiconductor.

5. Axente de transferencia en fase de gases

Como axente de transferencia en fase de gas, outros precursores gasosos introdúcense na cámara de reacción para axudar a axustar a taxa de deposición e a uniformidade do material.

Estas características fan que o grao electrónicoCloruro de hidróxenoUn importante axente de procesamento na tecnoloxía de semiconductores, que ten un impacto clave no rendemento e fiabilidade do dispositivo final.

Ademais do seu uso no procesamento de semicondutores, o cloruro de hidróxeno de calidade electrónica pode atopar unha variedade de usos noutras áreas, incluíndo: preparación de materiais de alta pureza, pilas de combustible, crecemento de materiais de semiconductores, litografía en fase de vapor, análise de materiais, investigación química.

En xeral, grao electrónicoCloruro de hidróxenoé un gas versátil e de alta pureza que ten unha ampla gama de aplicacións fóra da fabricación de semiconductores.