En 2018, o mercado mundial de gas electrónico para circuítos integrados alcanzou os 4.512 millóns de dólares estadounidenses, un aumento interanual do 16 %. A alta taxa de crecemento da industria de gases electrónicos especiais para semicondutores e o enorme tamaño do mercado aceleraron o plan nacional de substitución de gases electrónicos especiais!
Que é o gas electrónico?
O gas electrónico refírese ao material de orixe básico empregado na produción de semicondutores, pantallas planas, díodos emisores de luz, células solares e outros produtos electrónicos, e utilízase amplamente na limpeza, gravado, formación de películas, dopado e outros procesos. As principais áreas de aplicación do gas electrónico inclúen a industria electrónica, as células solares, as comunicacións móbiles, a navegación de automóbiles e os sistemas de audio e vídeo para automóbiles, a industria aeroespacial, a industria militar e moitos outros campos.
Os gases especiais electrónicos pódense dividir en sete categorías segundo a súa propia composición química: silicio, arsénico, fósforo, boro, hidruros metálicos, haluros e alcóxidos metálicos. Segundo os diferentes métodos de aplicación nos circuítos integrados, pódense dividir en gases de dopaxe, gases de epitaxia, gases de implantación iónica, gases de díodos emisores de luz, gases de gravado, gases de deposición química de vapor e gases de equilibrio. Na industria dos semicondutores utilízanse máis de 110 gases especiais unitarios, dos cales máis de 30 son os de uso común.
Xeralmente, a industria da produción de semicondutores divide os gases en dous tipos: gases comúns e gases especiais. Entre eles, o gas de uso común refírese a un subministro centralizado e usa moito gas, como N2, H2, O2, Ar, He, etc. O gas especial refírese a algúns gases químicos utilizados no proceso de produción de semicondutores, como a extensión, a inxección de ións, a mestura, o lavado e a formación de máscaras, que é o que agora chamamos gas especial electrónico, como SiH4 de alta pureza, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
En todo o proceso de produción da industria dos semicondutores, desde o crecemento do chip ata o empaquetado final do dispositivo, case todos os elos son inseparables do gas especial electrónico, e a variedade de gas utilizado e os requisitos de alta calidade, polo que o gas electrónico ten materiais semicondutores. "Comida".
Nos últimos anos, os principais compoñentes electrónicos da China, como os semicondutores e os paneis de visualización, aumentaron en nova capacidade de produción e existe unha forte demanda de substitución de importacións de materiais químicos electrónicos. A posición dos gases electrónicos na industria dos semicondutores tornouse cada vez máis destacada. A industria nacional do gas electrónico marcará o comezo dun rápido crecemento.
O gas especial electrónico ten uns requisitos de pureza moi elevados, porque se a pureza non cumpre cos requisitos, os grupos de impurezas como o vapor de auga e o osíxeno do gas especial electrónico formarán facilmente unha película de óxido na superficie do semicondutor, o que afecta á vida útil dos dispositivos electrónicos, e o gas especial electrónico contén partículas de impurezas que poden causar curtocircuítos e danos nos circuítos dos semicondutores. Pódese dicir que a mellora da pureza xoga un papel vital no rendemento e no rendemento da produción de dispositivos electrónicos.
Co desenvolvemento continuo da industria dos semicondutores, o proceso de fabricación de chips continúa a mellorar e agora chegou aos 5 nm, o que está a piques de achegarse ao límite da lei de Moore, que equivale a unha vixésima parte do diámetro dun cabelo humano (uns 0,1 mm). Polo tanto, isto tamén impón requisitos máis elevados sobre a pureza do gas especial electrónico producido polos semicondutores.
Data de publicación: 15 de decembro de 2021
