En 2018, o mercado mundial de gas electrónico para circuítos integrados alcanzou os 4.512 millóns de dólares, un aumento interanual do 16%. A elevada taxa de crecemento da industria electrónica de gas especial para os semiconductores e o enorme tamaño do mercado aceleraron o plan de substitución doméstica de gas especial electrónico.
Que é o gas electrónico?
O gas electrónico refírese ao material básico de orixe empregado na produción de semicondutores, pantallas de panel plano, diodos emisores de luz, células solares e outros produtos electrónicos, e é moi utilizada en limpeza, gravado, formación de películas, dopaxe e outros procesos. As principais áreas de aplicación de gas electrónico inclúen a industria electrónica, as células solares, as comunicacións móbiles, a navegación de vehículos e os sistemas de audio e vídeo de automóbiles, aeroespacial, industria militar e moitos outros campos.
O gas especial electrónico pódese dividir en sete categorías segundo a súa propia composición química: silicio, arsénico, fósforo, boro, hidruro metálico, haluro e alcoxido metálico. Segundo diferentes métodos de aplicación en circuítos integrados, pódese dividir en gases de dopaxe, gas de epitaxia, gas de implantación de ións, gas diodo emisor de luz, gas de gravación, gas de deposición de vapores químicos e gas de equilibrio. Hai máis de 110 gases especiais de unidade empregados na industria de semicondutores, dos cales se usan máis de 30.
Xeralmente, a industria da produción de semicondutores divide os gases en dous tipos: gases comúns e gases especiais. Entre eles, o gas usado comúnmente refírese a unha subministración centralizada e usa moito gas, como N2, H2, O2, AR, HE, etc. O gas especial refírese a algúns gases químicos empregados no proceso de produción de semiconductor, como a extensión, a inxección de ións, a mestura, o lavado e a formación de máscara, que é o que agora chamamos electrónica, tal pureza, sih4, ph3, ph3, básh, que é o que agora chamamos a un altura de pés, a ph3, a ph3, a ph3, a ph3, a ph3, ao ph3, ao b2o, ao ser. NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCl, CL2, etc.
Durante todo o proceso de produción da industria de semicondutores, desde o crecemento dos chip ata o envase final do dispositivo, case todos os enlaces son inseparables a partir de gas especial electrónico e a variedade de gases empregados e de alta calidade, polo que o gas electrónico ten materiais de semiconductor. "Comida".
Nos últimos anos, os principais compoñentes electrónicos de China como os semiconductores e os paneis de visualización aumentaron na nova capacidade de produción, e hai unha forte demanda de substitución de importacións de materiais químicos electrónicos. A posición dos gases electrónicos na industria dos semicondutores fíxose cada vez máis destacada. A industria electrónica do gas doméstico iniciará un rápido crecemento.
O gas especial electrónico ten requisitos moi altos para a pureza, porque se a pureza non está á altura dos requisitos, os grupos de impureza como o vapor de auga e o osíxeno no gas especial electrónico formarán facilmente película de óxido na superficie do semiconductor, que afecta á vida útil dos dispositivos electrónicos e o dano especial de gases e o circuíto electrónico contén as partículas de partículas de impurtos. Pódese dicir que a mellora da pureza xoga un papel vital no rendemento e o rendemento da produción de dispositivos electrónicos.
Co desenvolvemento continuo da industria de semicondutores, o proceso de fabricación de chip segue mellorando e agora alcanzou os 5 nm, que está a piques de abordar o límite da lei de Moore, equivalente a un vinte do diámetro dun cabelo humano (aproximadamente 0,1 mm). Polo tanto, isto tamén impide os requisitos máis altos sobre a pureza do gas especial electrónico producido por semiconductores.
Tempo de publicación: Decembro 15-2021
