En 2018, o mercado global de gas electrónico para circuítos integrados alcanzou os 4.512 millóns de dólares, un aumento interanual do 16%. A alta taxa de crecemento da industria electrónica de gas especial para semicondutores e o enorme tamaño do mercado aceleraron o plan de substitución doméstica de gas especial electrónico.
Que é o gas electrónico?
O gas electrónico refírese ao material de orixe básico utilizado na produción de semicondutores, pantallas planas, díodos emisores de luz, células solares e outros produtos electrónicos, e é amplamente utilizado na limpeza, gravado, formación de películas, dopaxe e outros procesos. As principais áreas de aplicación do gas electrónico inclúen a industria electrónica, as células solares, as comunicacións móbiles, a navegación do automóbil e os sistemas de audio e vídeo do automóbil, a industria aeroespacial, a industria militar e moitos outros campos.
O gas electrónico especial pódese dividir en sete categorías segundo a súa propia composición química: silicio, arsénico, fósforo, boro, hidruro metálico, haluro e alcóxido metálico. Segundo diferentes métodos de aplicación en circuítos integrados, pódese dividir en gas dopaxe, gas epitaxia, gas de implantación iónica, gas de díodo emisor de luz, gas de gravado, gas de deposición de vapor químico e gas de equilibrio. Hai máis de 110 unidades de gases especiais utilizadas na industria de semicondutores, dos cales máis de 30 son de uso habitual.
Xeralmente, a industria de produción de semicondutores divide os gases en dous tipos: gases comúns e gases especiais. Entre eles, o gas de uso común refírese a un abastecemento centralizado e utiliza moito gas, como N2, H2, O2, Ar, He, etc. O gas especial refírese a algúns gases químicos utilizados no proceso de produción de semicondutores, como por exemplo. extensión, inxección de ións, mestura, lavado e formación de máscaras, que é o que agora chamamos gas especial electrónico, como SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3 de alta pureza, HCl, Cl2, etc.
En todo o proceso de produción da industria de semicondutores, desde o crecemento do chip ata a embalaxe final do dispositivo, case todas as ligazóns son inseparables do gas especial electrónico e da variedade de gas utilizado e dos requisitos de alta calidade, polo que o gas electrónico ten materiais semicondutores. “Comida”.
Nos últimos anos, os principais compoñentes electrónicos de China, como semicondutores e paneis de visualización, aumentaron a súa nova capacidade de produción e hai unha forte demanda de substitución de importacións de materiais químicos electrónicos. A posición dos gases electrónicos na industria de semicondutores fíxose cada vez máis destacada. A industria do gas electrónico doméstica marcará o inicio dun rápido crecemento.
O gas especial electrónico ten requisitos moi altos de pureza, porque se a pureza non está á altura dos requisitos, os grupos de impurezas como o vapor de auga e o osíxeno do gas especial electrónico formarán facilmente unha película de óxido na superficie do semicondutor, o que afecta o vida útil dos dispositivos electrónicos, e o gas especial electrónico contén As partículas de impurezas poden causar curtocircuítos de semicondutores e danos no circuíto. Pódese dicir que a mellora da pureza xoga un papel vital no rendemento e rendemento da produción de dispositivos electrónicos.
Co desenvolvemento continuo da industria de semicondutores, o proceso de fabricación de chips segue mellorando, e agora alcanzou os 5 nm, que está a piques de achegarse ao límite da Lei de Moore, que equivale a unha vixésima parte do diámetro dun cabelo humano ( uns 0,1 mm). Polo tanto, isto tamén presenta requisitos máis elevados sobre a pureza do gas especial electrónico producido polos semicondutores.
Hora de publicación: 15-12-2021
