O hexafluoruro de tungsteno (WF6) deposítase na superficie da oblea a través dun proceso CVD, enchendo as gabias de interconexión metálica e formando a interconexión metálica entre capas.
Falemos primeiro do plasma. O plasma é unha forma de materia composta principalmente por electróns libres e ións cargados. Existe amplamente no universo e a miúdo considérase o cuarto estado da materia. Chámase estado do plasma, tamén chamado "plasma". O plasma ten unha alta condutividade eléctrica e ten un forte efecto de acoplamiento co campo electromagnético. É un gas parcialmente ionizado, composto por electróns, ións, radicais libres, partículas neutras e fotóns. O plasma en si é unha mestura neutral eléctrica que contén partículas físicas e químicamente activas.
A explicación sinxela é que baixo a acción de alta enerxía, a molécula superará a forza de Van der Waals, a forza de enlace químico e a forza de Coulomb e presentará unha forma de electricidade neutral no seu conxunto. Ao mesmo tempo, a alta enerxía impartida polo exterior supera as tres forzas anteriores. A función, os electróns e os ións presentan un estado libre, que se pode usar artificialmente baixo a modulación dun campo magnético, como o proceso de gravado de semiconductores, o proceso CVD, o PVD e o proceso IMP.
Que é a alta enerxía? En teoría, pódense usar RF de alta temperatura e alta frecuencia. En xeral, a alta temperatura é case imposible de conseguir. Este requirimento de temperatura é demasiado alto e pode estar preto da temperatura do sol. É basicamente imposible alcanzar no proceso. Polo tanto, a industria normalmente usa RF de alta frecuencia para conseguilo. O plasma RF pode alcanzar ata 13MHz+.
O hexafluoruro de tungsteno está plasmaizado baixo a acción dun campo eléctrico, e logo depositado por vapor por un campo magnético. Os átomos W son similares ás plumas de ganso de inverno e caen ao chan baixo a acción da gravidade. Lentamente, os átomos de W deposítanse nos buratos a través e finalmente enchen os buratos para formar interconexións metálicas. Ademais de depositar átomos W nos buratos a través, tamén se depositarán na superficie da oblea? Si, definitivamente. En xeral, pode usar o proceso W-CMP, que é o que chamamos ao proceso de moenda mecánica para eliminar. É semellante a usar unha escoba para varrer o chan despois da neve pesada. A neve no chan está arrasada, pero a neve no burato no chan permanecerá. Abaixo, aproximadamente o mesmo.
Tempo de publicación: Decembro 24-2021
