O hexafluoruro de volframio (WF6) deposítase na superficie da oblea mediante un proceso CVD, enchendo as gabias de interconexión metálica e formando a interconexión metálica entre capas.
Falemos primeiro do plasma. O plasma é unha forma de materia composta principalmente por electróns libres e ións cargados. Existe amplamente no universo e a miúdo considérase como o cuarto estado da materia. Chámase estado do plasma, tamén chamado "plasma". O plasma ten alta condutividade eléctrica e ten un forte efecto de acoplamento co campo electromagnético. É un gas parcialmente ionizado, composto por electróns, ións, radicais libres, partículas neutras e fotóns. O propio plasma é unha mestura eléctricamente neutra que contén partículas física e químicamente activas.
A explicación sinxela é que baixo a acción da alta enerxía, a molécula superará a forza de van der Waals, a forza de enlace químico e a forza de Coulomb, e presentará unha forma de electricidade neutra no seu conxunto. Ao mesmo tempo, a alta enerxía impartida polo exterior supera as tres forzas anteriores. A función, os electróns e os ións presentan un estado libre, que se pode usar artificialmente baixo a modulación dun campo magnético, como o proceso de gravado de semicondutores, o proceso CVD, o proceso PVD e IMP.
Que é a alta enerxía? En teoría, pódense usar tanto RF de alta temperatura como de alta frecuencia. En xeral, a alta temperatura é case imposible de acadar. Este requisito de temperatura é demasiado alto e pode estar preto da temperatura do sol. É basicamente imposible de conseguir no proceso. Polo tanto, a industria adoita empregar RF de alta frecuencia para conseguilo. A RF de plasma pode alcanzar os 13MHz+.
O hexafluoruro de volframio plasmázase baixo a acción dun campo eléctrico, e despois depótase en vapor mediante un campo magnético. Os átomos W son semellantes ás plumas de ganso de inverno e caen ao chan baixo a acción da gravidade. Lentamente, os átomos de W son depositados nos orificios pasantes, e finalmente énchense os buracos pasantes completos para formar interconexións metálicas. Ademais de depositar átomos de W nos orificios pasantes, tamén se depositarán na superficie da oblea? Si, definitivamente. En xeral, pode usar o proceso W-CMP, que é o que chamamos proceso de moenda mecánica para eliminar. É semellante a usar unha vasoira para varrer o chan despois de fortes neves. A neve no chan é varrida, pero a neve no burato no chan permanecerá. Abaixo, máis ou menos o mesmo.
Hora de publicación: 24-12-2021
