Tetrafluoruro de carbono (CF4)

Parámetros técnicos

O tetrafluoruro de carbono é un hidrocarburo haloxenado coa fórmula química CF4. Pódese considerar como un hidrocarburo haloxenado, metano haloxenado, perfluorocarbono ou un composto inorgánico. O tetrafluoruro de carbono é un gas incoloro e inodoro, insoluble en auga, soluble en benceno e cloroformo. Estable a temperatura e presión normais, evite oxidantes fortes, materiais inflamables ou combustibles. Gas non combustible, a presión interna do recipiente aumentará cando se expoña a altas temperaturas e hai perigo de rachaduras e explosión. É químicamente estable e non inflamable. Só o reactivo líquido amoníaco-sodio metálico pode funcionar a temperatura ambiente. O tetrafluoruro de carbono é un gas que provoca o efecto invernadoiro. É moi estable, pode permanecer na atmosfera durante moito tempo e é un gas de efecto invernadoiro moi potente. O tetrafluoruro de carbono úsase no proceso de gravado por plasma de varios circuítos integrados. Tamén se usa como gas láser, e emprégase en refrixerantes de baixa temperatura, disolventes, lubricantes, materiais illantes e refrixerantes para detectores infravermellos. É o gas de gravado por plasma máis utilizado na industria da microelectrónica. É unha mestura de gas tetrafluorometano de alta pureza e gas tetrafluorometano de alta pureza e osíxeno de alta pureza. Pódese usar amplamente en silicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio e vidro fosfosilicato. O gravado de materiais de película delgada como o volframio e o volframio tamén se usa amplamente na limpeza de superficies de dispositivos electrónicos, produción de células solares, tecnoloxía láser, refrixeración a baixa temperatura, inspección de fugas e deterxentes na produción de circuítos impresos. Usado como refrixerante a baixa temperatura e tecnoloxía de grabado en seco por plasma para circuítos integrados. Precaucións de almacenamento: Almacenar nun almacén de gas non combustible fresco e ventilado. Manter lonxe do lume e fontes de calor. A temperatura de almacenamento non debe superar os 30 °C. Debe almacenarse por separado de combustibles e oxidantes facilmente (combustibles), e evitar o almacenamento mixto. A zona de almacenamento debe estar equipada con equipos de tratamento de emerxencia de fugas.

Aplicación:

① Refrixerante:

O tetrafluorometano úsase ás veces como refrixerante a baixa temperatura.

② Gravado:

Utilízase na microfabricación electrónica só ou en combinación con osíxeno como gravador de plasma para silicio, dióxido de silicio e nitruro de silicio.

Paquete normal:

Vantaxe:

① Alta pureza, última instalación;

②Fabricante do certificado ISO;

③ Entrega rápida;

④Sistema de análise en liña para o control de calidade en cada paso;

⑤Alta esixencia e proceso meticuloso para manipular o cilindro antes de encher;