Tetrafluoruro de carbono (CF4)

Parámetros técnicos

O tetrafluoruro de carbono é un hidrocarburo haloxenado coa fórmula química CF4. Pode considerarse un hidrocarburo haloxenado, metano haloxenado, perfluorocarbono ou un composto inorgánico. O tetrafluoruro de carbono é un gas incoloro e inodoro, insoluble en auga, soluble en benceno e cloroformo. Estable a temperatura e presión normais, evite oxidantes fortes, materiais inflamables ou combustibles. Ao ser un gas non combustible, a presión interna do recipiente aumentará cando se expón a unha calor elevada e existe o perigo de rachaduras e explosións. É quimicamente estable e non inflamable. Só o reactivo metálico líquido de amoníaco e sodio pode funcionar a temperatura ambiente. O tetrafluoruro de carbono é un gas que causa o efecto invernadoiro. É moi estable, pode permanecer na atmosfera durante moito tempo e é un gas de efecto invernadoiro moi potente. O tetrafluoruro de carbono utilízase no proceso de gravado por plasma de varios circuítos integrados. Tamén se usa como gas láser e utilízase en refrixerantes de baixa temperatura, solventes, lubricantes, materiais illantes e refrixerantes para detectores de infravermellos. É o gas de gravado por plasma máis empregado na industria microelectrónica. É unha mestura de gas tetrafluorometano de alta pureza e gas tetrafluorometano de alta pureza e osíxeno de alta pureza. Pode empregarse amplamente en silicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio e vidro de fosfosilicato. O gravado de materiais de película fina como o volframio e o volframio tamén se emprega amplamente na limpeza de superficies de dispositivos electrónicos, na produción de células solares, na tecnoloxía láser, na refrixeración a baixa temperatura, na inspección de fugas e como deterxente na produción de circuítos impresos. Úsase como refrixerante a baixa temperatura e como tecnoloxía de gravado seco por plasma para circuítos integrados. Precaucións para o almacenamento: Gardar nun almacén de gas non combustible fresco e ventilado. Manter lonxe de fontes de lume e calor. A temperatura de almacenamento non debe superar os 30 °C. Debe almacenarse separado de combustibles e oxidantes facilmente combustibles e evitar o almacenamento mixto. A zona de almacenamento debe estar equipada con equipos de tratamento de emerxencia por fugas.

Aplicación:

① Refrixerante:

O tetrafluorometano úsase ás veces como refrixerante a baixa temperatura.

② Gravado:

Úsase na microfabricación de electrónica só ou en combinación con osíxeno como axente de gravación por plasma para silicio, dióxido de silicio e nitruro de silicio.

Paquete normal:

Vantaxe:

①Alta pureza, instalacións de última xeración;

②Fabricante de certificados ISO;

③Entrega rápida;

④Sistema de análise en liña para o control de calidade en cada paso;

⑤Alto requisito e proceso meticuloso para a manipulación do cilindro antes do recheo;