Tetrafluoruro de carbono (CF4)

Parámetros técnicos

O tetrafluoruro de carbono é un hidrocarburo haloxenado coa fórmula química CF4.Pódese considerar como un hidrocarburo haloxenado, metano haloxenado, perfluorocarbono ou un composto inorgánico.O tetrafluoruro de carbono é un gas incoloro e inodoro, insoluble en auga, soluble en benceno e cloroformo.Estable a temperatura e presión normais, evite oxidantes fortes, materiais inflamables ou combustibles.Gas non combustible, a presión interna do recipiente aumentará cando se expoña a altas temperaturas e hai perigo de rachaduras e explosión.É químicamente estable e non inflamable.Só o reactivo líquido amoníaco-sodio metálico pode funcionar a temperatura ambiente.O tetrafluoruro de carbono é un gas que causa o efecto invernadoiro.É moi estable, pode permanecer moito tempo na atmosfera e é un gas de efecto invernadoiro moi potente.O tetrafluoruro de carbono úsase no proceso de gravado por plasma de varios circuítos integrados.Tamén se usa como gas láser, e úsase en refrixerantes de baixa temperatura, disolventes, lubricantes, materiais illantes e refrixerantes para detectores infravermellos.É o gas de gravado por plasma máis utilizado na industria da microelectrónica.É unha mestura de gas tetrafluorometano de alta pureza e gas tetrafluorometano de alta pureza e osíxeno de alta pureza.Pódese usar amplamente en silicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio e vidro fosfosilicato.O gravado de materiais de película delgada como o volframio e o volframio tamén se usa amplamente na limpeza de superficies de dispositivos electrónicos, produción de células solares, tecnoloxía láser, refrixeración a baixa temperatura, inspección de fugas e deterxentes na produción de circuítos impresos.Usado como refrixerante a baixa temperatura e tecnoloxía de grabado en seco por plasma para circuítos integrados.Precaucións de almacenamento: Almacenar nun almacén de gas non combustible fresco e ventilado.Manter lonxe do lume e fontes de calor.A temperatura de almacenamento non debe superar os 30 °C.Debe almacenarse por separado de combustibles e oxidantes facilmente (combustibles), e evitar o almacenamento mixto.A zona de almacenamento debe estar equipada con equipos de tratamento de emerxencia de fugas.

Aplicación:

① Refrixerante:

O tetrafluorometano úsase ás veces como refrixerante a baixa temperatura.

② Gravado:

Utilízase na microfabricación electrónica só ou en combinación con osíxeno como gravador de plasma para silicio, dióxido de silicio e nitruro de silicio.

Paquete normal:

Vantaxe:

① Alta pureza, última instalación;

②Fabricante do certificado ISO;

③ Entrega rápida;

④Sistema de análise en liña para o control de calidade en cada paso;

⑤Alta esixencia e proceso meticuloso para manipular o cilindro antes de encher;