Electrónicagases especiaisson unha rama importante de gases especiais. Penetran case todos os vínculos de produción de semicondutores e son materias primas imprescindibles para a produción de industrias electrónicas como circuítos integrados a escala ultra-grande, dispositivos de visualización do panel plano e células solares.

Na tecnoloxía de semiconductores, os gases que conteñen fluor son moi utilizados. Actualmente, no mercado global de gas electrónico, os gases electrónicos que conteñen fluor representan preto do 30% do total. Os gases electrónicos que conteñen flúor son un compoñente importante de gases electrónicos especiais no campo dos materiais de información electrónica. Utilízanse principalmente como axentes de limpeza e axentes de grabación e tamén se poden usar como dopantes, materiais que forman películas, etc. Neste artigo, o autor levará a comprender os gases comúns que conteñen o flúor.

Os seguintes son os gases que conteñen fluor en fluor

Trifluoruro de nitróxeno (NF3): un gas usado para a limpeza e eliminación de depósitos, normalmente usado para limpar as cámaras de reacción e superficies de equipos.

Hexafluoruro de xofre (SF6): Un axente fluorado usado nos procesos de deposición de óxidos e como gas illante para encher medios illantes.

Fluoruro de hidróxeno (HF): usado para eliminar os óxidos da superficie do silicio e como gravado para o silicio e outros materiais.

Fluoruro de nitróxeno (NF): usado para grabar materiais como o nitruro de silicio (sin) e o nitruro de aluminio (ALN).

Trifluorometano (CHF3) etetrafluorometano (cf4): Usado para gravar materiais de fluoruro como o fluoruro de silicio e o fluoruro de aluminio.

Non obstante, os gases que conteñen flúor teñen certos perigos, incluíndo toxicidade, corrosividade e inflamabilidade.

Toxicidade

Algúns gases que conteñen flúor son tóxicos, como o fluoruro de hidróxeno (HF), cuxo vapor é moi irritante para a pel e as vías respiratorias e prexudiciais para a saúde humana.

Corrosividade

O fluoruro de hidróxeno e algúns fluoruros son altamente corrosivos e poden causar danos graves na pel, os ollos e as vías respiratorias.

Inflamabilidade

Algúns fluoruros son inflamables e reaccionan con osíxeno ou auga no aire para liberar calor intenso e gases tóxicos, o que pode causar lume ou explosión.

Perigo de alta presión

Algúns gases fluorados son explosivos a alta presión e requiren coidados especiais cando se usan e almacenan.

Impacto no medio ambiente

Os gases que conteñen flúor teñen altas vidas atmosféricas e valores de GWP, que teñen un efecto destrutivo na capa de ozono atmosférico e poden causar o quecemento global e a contaminación ambiental.

A aplicación de gases en campos emerxentes como a electrónica segue a profundizar, achegando unha gran cantidade de nova demanda de gases industriais. Con base na gran cantidade de nova capacidade de produción de compoñentes electrónicos importantes como os semiconductores e os paneis de exhibición na China continental nos próximos anos, así como a forte demanda de substitución de importacións de materiais químicos electrónicos, a industria electrónica doméstica fará unha elevada taxa de crecemento.