Electrónicogases especiaisson unha rama importante dos gases especiais. Penetran en case todos os eslabóns da produción de semicondutores e son materias primas indispensables para a produción de industrias electrónicas como circuítos integrados a ultragrande escala, dispositivos de pantalla plana e células solares.

Na tecnoloxía dos semicondutores, os gases que conteñen flúor son amplamente utilizados. Actualmente, no mercado mundial de gases electrónicos, os gases electrónicos que conteñen flúor representan arredor do 30 % do total. Os gases electrónicos que conteñen flúor son un compoñente importante dos gases electrónicos especiais no campo dos materiais de información electrónica. Úsanse principalmente como axentes de limpeza e axentes de gravado, e tamén se poden usar como dopantes, materiais formadores de película, etc. Neste artigo, o autor axudarache a comprender os gases que conteñen flúor comúns.

Os seguintes son gases que conteñen flúor de uso común

Trifluoruro de nitróxeno (NF3): gas empregado para limpar e eliminar depósitos, normalmente para limpar cámaras de reacción e superficies de equipos.

Hexafluoruro de xofre (SF6)Axente fluorante empregado en procesos de deposición de óxidos e como gas illante para o recheo de medios illantes.

Fluoruro de hidróxeno (HF): úsase para eliminar óxidos da superficie do silicio e como axente de gravado para gravar silicio e outros materiais.

Fluoruro de nitróxeno (NF): úsase para gravar materiais como o nitruro de silicio (SiN) e o nitruro de aluminio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) etetrafluorometano (CF4)Úsase para gravar materiais fluorados como o fluoruro de silicio e o fluoruro de aluminio.

Non obstante, os gases que conteñen flúor presentan certos perigos, como a toxicidade, a corrosividade e a inflamabilidade.

Toxicidade

Algúns gases que conteñen flúor son tóxicos, como o fluoruro de hidróxeno (HF), cuxo vapor é moi irritante para a pel e as vías respiratorias e prexudicial para a saúde humana.

Corrosividade

O fluoruro de hidróxeno e algúns fluoruros son altamente corrosivos e poden causar danos graves na pel, nos ollos e nas vías respiratorias.

Inflamabilidade

Algúns fluoruros son inflamables e reaccionan co osíxeno ou a auga do aire para liberar calor intensa e gases tóxicos, que poden causar incendios ou explosións.

Perigo de alta presión

Algúns gases fluorados son explosivos a alta presión e requiren un coidado especial durante o seu uso e almacenamento.

Impacto no medio ambiente

Os gases que conteñen flúor teñen tempos de vida atmosféricos e valores de impacto ambiental elevados, o que ten un efecto destrutivo sobre a capa de ozono atmosférico e pode causar quecemento global e contaminación ambiental.

A aplicación de gases en campos emerxentes como a electrónica continúa a profundizarse, o que xera unha gran cantidade de nova demanda de gases industriais. En función da gran cantidade de nova capacidade de produción de principais compoñentes electrónicos como semicondutores e paneis de visualización na China continental nos próximos anos, así como da forte demanda de substitución de importacións de materiais químicos electrónicos, a industria nacional de gases electrónicos marcará o comezo dunha alta taxa de crecemento.