Electrónicagases especiaisson unha rama importante dos gases especiais. Penetran en case todos os enlaces da produción de semicondutores e son materias primas indispensables para a produción de industrias electrónicas, como circuítos integrados a gran escala, dispositivos de visualización de pantalla plana e células solares.

Na tecnoloxía de semicondutores úsanse amplamente os gases que conteñen flúor. Actualmente, no mercado global de gas electrónico, os gases electrónicos que conteñen flúor representan preto do 30% do total. Os gases electrónicos que conteñen flúor son un compoñente importante dos gases electrónicos especiais no campo dos materiais electrónicos de información. Utilízanse principalmente como axentes de limpeza e gravadores, e tamén se poden usar como dopantes, materiais formadores de películas, etc. Neste artigo, o autor levarache a comprender os gases comúns que conteñen flúor.

Os seguintes son os gases que conteñen flúor de uso común

Trifluoruro de nitróxeno (NF3): gas utilizado para limpar e eliminar depósitos, normalmente usado para limpar as cámaras de reacción e as superficies dos equipos.

Hexafluoruro de xofre (SF6): Axente fluorado utilizado nos procesos de deposición de óxidos e como gas illante para o recheo de medios illantes.

Fluoruro de hidróxeno (HF): Úsase para eliminar óxidos da superficie de silicio e como gravador para gravar silicio e outros materiais.

Fluoruro de nitróxeno (NF): Úsase para gravar materiais como o nitruro de silicio (SiN) e o nitruro de aluminio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) etetrafluorometano (CF4): Úsase para gravar materiais fluorados como fluoruro de silicio e fluoruro de aluminio.

Non obstante, os gases que conteñen flúor teñen certos perigos, incluíndo a toxicidade, a corrosividade e a inflamabilidade.

Toxicidade

Algúns gases que conteñen flúor son tóxicos, como o fluoruro de hidróxeno (HF), cuxo vapor é moi irritante para a pel e as vías respiratorias e prexudicial para a saúde humana.

Corrosividade

O fluoruro de hidróxeno e algúns fluoruros son altamente corrosivos e poden causar graves danos na pel, os ollos e as vías respiratorias.

Inflamabilidade

Algúns fluoruros son inflamables e reaccionan co osíxeno ou coa auga no aire para liberar calor intensa e gases tóxicos, que poden provocar incendios ou explosións.

Risco de alta presión

Algúns gases fluorados son explosivos a alta presión e requiren coidados especiais cando se usan e se almacenan.

Impacto no medio ambiente

Os gases que conteñen flúor teñen unha vida útil atmosférica e uns valores de GWP elevados, que teñen un efecto destrutivo sobre a capa de ozono atmosférico e poden causar quecemento global e contaminación ambiental.

A aplicación de gases en campos emerxentes como a electrónica segue afondando, o que supón unha gran cantidade de novas demandas de gases industriais. Con base na gran cantidade de novas capacidades de produción dos principais compoñentes electrónicos, como semicondutores e paneis de visualización na China continental nos próximos anos, así como a forte demanda de substitución de importacións de materiais químicos electrónicos, a industria do gas electrónico doméstica abrirá o paso. unha alta taxa de crecemento.