Que étetrafluoruro de carbonoPara que serve?
tetrafluoruro de carbono, tamén coñecido como tetrafluorometano, considérase un composto inorgánico. Úsase no proceso de gravado por plasma de varios circuítos integrados e tamén se usa como gas láser e refrixerante. É relativamente estable a temperatura e presión normais, pero é necesario evitar o contacto con oxidantes fortes, materiais inflamables ou combustibles. O tetrafluoruro de carbono é un gas non combustible. Se se atopa con calor elevado, fará que a presión interna do recipiente aumente e existe o perigo de rachaduras e explosións. Normalmente só pode interactuar con reactivo metálico de amoníaco-sodio líquido a temperatura ambiente.
tetrafluoruro de carbonoé actualmente o gas de gravado por plasma máis empregado na industria microelectrónica. Pode empregarse amplamente no gravado de silicio, dióxido de silicio, vidro de fosfosilicato e outros materiais de película fina, na limpeza da superficie de dispositivos electrónicos, na produción de células solares, na tecnoloxía láser, no illamento en fase gasosa, na refrixeración a baixa temperatura, nos axentes de detección de fugas e nos deterxentes na produción de circuítos impresos, que teñen un gran número de aplicacións.
Data de publicación: 01-11-2021





