Que é o tetrafluoruro de carbono? Para que serve?

Que étetrafluoruro de carbonoPara que serve?

tetrafluoruro de carbono, tamén coñecido como tetrafluorometano, considérase un composto inorgánico. Úsase no proceso de gravado por plasma de varios circuítos integrados e tamén se usa como gas láser e refrixerante. É relativamente estable a temperatura e presión normais, pero é necesario evitar o contacto con oxidantes fortes, materiais inflamables ou combustibles. O tetrafluoruro de carbono é un gas non combustible. Se se atopa con calor elevado, fará que a presión interna do recipiente aumente e existe o perigo de rachaduras e explosións. Normalmente só pode interactuar con reactivo metálico de amoníaco-sodio líquido a temperatura ambiente.

tetrafluoruro de carbonoé actualmente o gas de gravado por plasma máis empregado na industria microelectrónica. Pode empregarse amplamente no gravado de silicio, dióxido de silicio, vidro de fosfosilicato e outros materiais de película fina, na limpeza da superficie de dispositivos electrónicos, na produción de células solares, na tecnoloxía láser, no illamento en fase gasosa, na refrixeración a baixa temperatura, nos axentes de detección de fugas e nos deterxentes na produción de circuítos impresos, que teñen un gran número de aplicacións.


Data de publicación: 01-11-2021