Que é o tetrafluoruro de carbono?Cal é o uso?

Que étetrafluoruro de carbono?Cal é o uso?

Tetrafluoruro de carbono, tamén coñecido como tetrafluorometano, considérase un composto inorgánico.Utilízase no proceso de gravado por plasma de varios circuítos integrados, e tamén se usa como gas láser e refrixerante.É relativamente estable a temperatura e presión normais, pero é necesario evitar o contacto con oxidantes fortes, materiais inflamables ou combustibles.O tetrafluoruro de carbono é un gas incombustible.Se atopa un calor elevado, fará que a presión interna do recipiente aumente e hai perigo de rachaduras e explosión.Normalmente só pode interactuar co reactivo líquido amoníaco-sodio metálico a temperatura ambiente.

Tetrafluoruro de carbonoé actualmente o maior gas de gravado por plasma utilizado na industria da microelectrónica.Pode ser amplamente utilizado no gravado de silicio, dióxido de silicio, vidro fosfosilicato e outros materiais de película fina, limpeza da superficie de dispositivos electrónicos, produción de células solares, tecnoloxía láser, illamento en fase gas, refrixeración a baixa temperatura, axentes de detección de fugas, e os deterxentes na produción de circuítos impresos teñen un gran número de aplicacións.